有网友问光刻机性能指标是什么?今天就给大家讲解一下光刻机性能指标是什么 。
【光刻机的主要性能指标有几个 光刻机性能指标是什么?】
文章插图
光刻机性能指标是什么第一、光刻机的主要性能指标有：支持基片的尺寸范围 ， 分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等 。
第二、分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式 。光刻的分辨率受受光源衍射的限制 ， 所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制 。
第三、对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度 。
第四、曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式 。
第五、曝光光源波长分为紫外、深紫外和极紫外区域 ， 光源有汞灯 ， 准分子激光器等 。
以上就是给各位带来的关于光刻机性能指标是什么的全部内容了 。
经验总结扩展阅读
-
普罗旺斯薰衣草庄园美不胜收 让你一秒爱上这个梦幻天堂
-
-
-
-
2023年9月8日适合种树吗 2023年9月8日种树黄道吉日
-
-
-
-
真正爱你和不爱你的人有什么表现 爱你和不爱你的人有哪些明显的区别?
-
-
-
-
-
婚姻|不结婚也能“生孩子”：在未来，婚姻制度或许会“消失”
-
-
2023年9月11日是制作棺材的黄道吉日吗 2023年9月11日适合制作棺材吗
-
39奇妙的中医 世界公认的“软毒品”，伤身又致癌！中国还有6000万人爱吃
-
-
直男|一本献给直男的七夕秘籍 欧拉汽车为了喵粉们可是操碎了心
-
土家九妹 00后夫妇一个月25次“857”，不幸离世，医生：无知，铁打的肝也受不了
